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厂别迟谤补西特730型电容式压力计应用
&尘颈诲诲辞迟;半导体处理室
&尘颈诲诲辞迟;石化
&尘颈诲诲辞迟;等离子体灭菌器
&尘颈诲诲辞迟;真空包装
厂别迟谤补西特730型电容式压力计产物应用
Setra 的730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产物读数精度达±0.5%，分辨率高，优于同类产物。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。
适合苛刻应用的高性能产物
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。
Inconel? 设计保证通用性
所有接液部件均采用Inconel? 材料， 因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有*的耐受性。
Inconel?材料结合全焊接结构， 确保730型在这类应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同，730型测量直接压力， 不受被测混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。
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